PicoMaster ATE-100 無掩模激光直寫光刻機
●250納米分辨率（375納米激光源）
●300納米分辨率（405納米激光源）
●4095灰階
●業界成套全息設計軟件
●最大125x125毫米基板尺寸
PicoMaster 100 采用波長405納米二極管激光器，它擁有市場上最小的300納米激光分辨率。升級375納米激光源，可以更好地兼容市面上I-line光刻膠材，從而滿足更高級別的應用需求。備用光學模塊，將大大的降低機器停機時間。更為人性化的軟件設計，大大提升了用戶實際操作效率，它將是您科學研究、實驗開發、設計創新，理想的光學伙伴。PicoMaster 100廣泛應用于半導體光刻, LED芯片,微流控芯片,微納結構,灰度光刻,三維加工,全息影像等多個領域。
PicoMaster 100 無掩模激光直寫系統性能規格
?PicoMaster 100 曝光光 時間表中只列出部分代 表性直寫精度，不代表 所有尺寸；
? PicoMaster 100 曝光時 間表中的運動參數均為 標準設置；
? PicoMaster 100 可配備 自動數值孔徑開關，允 許用戶選擇較低的分辨 率，提高寫入速度。
PicoMaster 附帶兩個基于Windows的應用程序：項目管理器和設備控制器。 • 當設備控制器處理作業并控制機器時，項目管理器允許用戶選擇功能并處理圖像； • 項目管理器具有獨立動態處理圖像的特點，這將作業前的準備時間減少； • 設備控制器允許操作員對項目作業進行排隊、項目進度監控，并提供高級手動控制功能。
• PicoMaster 設備控制器的特點：
•即時處理作業。
• 作業隊列。
• 可自由定義的工藝和曝光配方。
• 擴展歷史數據庫。
• 支持遠程操作。
