使用靈巧型勻膠機的方法

【資料簡介】

靈巧型勻膠機 型號：EZ6
　　EasyCoater 6勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，5寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。 
　　EZ6勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。 

產品性能參數： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶） 

速度可調范圍：200-10000rpm 
加速度可調范圍：100-10000rpm/s 
轉速分辨率：1rpm  
轉速精度：＜±5rpm 
可編程10組10步程序  
寬電壓輸入：AC100-230V 
產品特性優點： 
100W 直流無刷電機，PLC 控制 
5”全彩觸摸屏  
系統中英文可選 

帶一只自動點膠端口，可升級自動點膠功能 
HDPE 內腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋  
真空互鎖及蓋子開關互鎖安全功能 
產品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)