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蘇州芯矽電子科技有限公司
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| 槽數 | 其他 | 超聲清洗頻率 | 定制 |
|---|---|---|---|
| 工作方式 | 定制 | 功率 | 定制 |
| 加工定制 | 是 | 類型 | 其他 |
| 清洗溫度 | 定制℃ | 適用領域 | 電子行業 |
| 外形尺寸 | 定制cm | 用途 | 工業用 |
SPM全自動超聲清洗機是半導體制造中用于高效清潔精密部件的關鍵設備，通過超聲波空化效應結合化學溶劑（如硫酸、過氧化氫等）去除硅片、光罩、石英件等表面的微粒、金屬污染及光刻膠殘留。其全自動流程實現上料、清洗、漂洗、干燥一體化，支持多槽分區處理與溫度/時間精準控制，確保納米級顆粒清除和微觀結構保護。廣泛應用于制程芯片制造，提升良品率，降低缺陷風險，是保障半導體工藝穩定性和高精度生產的核心裝備。
SPM全自動超聲清洗機是半導體、電子、醫療等行業中用于高精度清洗關鍵部件的智能化設備，其設計核心是通過超聲波空化效應結合自動化流程，實現高效、無損傷的深度清潔。以下是對該設備的詳細描述：
一、設備功能與核心價值
核心清洗能力
利用超聲波在液體中的高頻振動（通常20-80kHz），產生“空化效應"，通過氣泡破裂釋放的能量（局部高溫高壓）剝離污染物，包括微粒、金屬殘留、光刻膠、氧化物等。
支持復雜幾何形狀（如深孔、狹縫）和微小結構（如納米級顆粒）的清潔，避免傳統清洗方式的盲區。
自動化與智能化
集成機械臂、傳送帶或機器人抓取系統，實現上料、清洗、漂洗、干燥、下料的全自動化流程，減少人工干預導致的污染風險。
配備PLC或工業計算機控制系統，支持參數預設（時間、溫度、超聲頻率）、實時監控及數據追溯，部分設備可與MES系統聯動
二、設備構成與技術特點
核心組件
超純水（UPW）循環過濾（如UF/UF膜）、加熱與恒溫控制（±1℃精度）。
化學清洗液自動配比與回收功能，降低耗材成本。
發生器：將電能轉換為高頻（20-80kHz）超聲波信號，數字式發生器可實現頻率微調與功率精準控制。
換能器：壓電陶瓷或磁致伸縮材料，將電能轉化為機械振動，輻射至清洗液中。
清洗槽：采用304/316L不銹鋼或耐腐蝕合金，底部或側壁安裝換能器陣列，支持多槽分區設計（如預洗、主洗、漂洗）。
超聲波系統：
自動化傳輸模塊：機械臂或龍門式結構，配備真空吸盤或定制夾具，確保精密部件平穩轉移。
液體處理系統：
干燥單元：離心干燥、熱風干燥或真空干燥，部分設備集成IPA（異丙醇）脫水工藝，防止水痕殘留。
關鍵技術優勢
多工藝兼容：支持濕法（化學+超聲波）、干法（等離子）組合清洗，適應不同污染物類型。
顆粒控制：納米級過濾（如0.1μm濾芯）、流體力學優化設計，避免二次污染。
低溫清洗：部分機型支持低溫超聲（如40℃以下），減少熱膨脹對精密零件的影響。
環保設計：清洗液回收率>90%，廢氣處理系統（如活性炭吸附）符合環保標準。
三、工作流程與工藝步驟
預處理階段
工件進入設備后，通過惰性氣體吹掃或真空吸附去除表面大顆粒。
預濕潤（如DI水噴淋）增強后續超聲清洗效果。
清洗階段
超聲波+化學清洗：高頻振動結合酸性/堿性溶液（如H?SO?/H?O?混合液），分解頑固污染物。
多槽聯動：依次通過預洗槽（去除大顆粒）、主洗槽（深度清潔）、漂洗槽（超純水沖洗）等。
后處理與檢測
干燥后可選配紫外線消毒或氫鈍化處理（如HF浸泡），修復表面氧化層。
在線檢測（如激光顆粒計數儀、光學顯微鏡）驗證清洗效果，數據實時上傳至控制系統。
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