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北京歐波同光學技術有限公司
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Coxem SPT-20離子濺射儀
品 牌：Coxem
型號：SPT-20
該產品自動真空控制，條件設置簡單，可以實現快速抽真空（<2min），對樣品進行鍍膜處理，完成鍍膜后可以自動卸載真空。同時，樣品高度的調節也十分方便。
技術指標：
1、電源：AC 220V，500W
2、重量：10kg
3、尺寸：420（W）x220（D）x230（H）mm
4、機械泵：50L/min（60Hz），AC 220V，150W，14.5kg
5、靶的尺寸：直徑50.8mm
6、真空度：約0.1torr
7、zui 大低電壓：~3kv
離子流控制范圍：1~9mA
特點:
1全自動數字離子濺射鍍膜機
2 可一鍵進行離濺射鍍膜，完成鍍膜后可自動卸載真空
3具有涂層電流反饋功能的穩定涂層
4可用于Au, Pt, Pd, Pt-Pd各種金屬靶
5采用低噪音旋轉泵
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