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Safematic CCU-010HV高真空離子濺射儀

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更新時間:2022-01-12 11:50:17瀏覽次數:469次

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智能模塊化設計CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀,同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用,使用非常簡單

智能模塊化設計

   CCU-010是一種緊湊型全自動高真空離子濺射儀,同時可以通過更換靶頭作為高真空碳鍍膜機進行使用,使用非常簡單。由于的插件概念,該設備很容易配置濺射或蒸發,只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。CCU-010有一個靜態樣品臺,包括高度調節和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉階段或旋轉行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監測都作為標準。



多樣性的真空互聯

  CCU-010HV高真空離子濺射儀覆蓋了所有性能的掃描電子顯微鏡、透射電鏡和薄膜應用。模塊化設計讓常規真空系統轉換到高真空系統非常方便。

簡單操作、維護方便

  打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯網連接在現場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。

 ccu-010-局部照2.jpgccu-010-工作照2.jpg

操作簡單、維護方便

打開包裝,連接并啟動!即插即用的概念允許您自己啟動設備。你只需要接通電源和處理氣體。通過集成的USB服務接口,服務技術人員可以通過互聯網連接在現場或遠程運行快速錯誤分析。模塊化設置允許直接更換有缺陷的部件。

?自動閥門控制兩種氣體的排放過程。

?可選擇速度控制旋轉或行星齒輪臺,用于固定不同類型的試樣和樣品臺。

?視覺化設計的用戶軟件界面,具有多種一鍵功能操作。

?基于Windows軟件的涂層軟件LAB,可以進行數字化的涂層結構編輯。

?如果系統關閉或斷電(如果使用無油泵操作),您可以保持系統處于真空狀態。

?在斷電情況下自動排放系統的功能,防止系統受到備用泵油的污染(如果使用油封泵操作?簡單的插入式電氣和氣動接口,用于將涂層頭連接至基本單元,允許在幾秒鐘內在模塊之間進行交換。

?程序會自動識別并將調出所需要的菜單。




技術指標



外形尺寸:



580×360×350mm


真空測量:


皮拉尼計和冷陰極壓力計


儀器重量:



32kg


控制模式:


自動觸摸屏Windows軟件系統


電源要求



100-240VAC


靶材尺寸:


φ54mm   


倉室尺寸:



φ120


濺射電流:


10-100mA


真空泵:



集成式渦輪分子泵


濺射時間:


≤900s


極限真空:


2×10^(-6)mbar/2×10^(-4)Pa


供氣選項:


氬氣、氮氣、空氣等可選


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