lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

超快質量流量控制器，響應時間為200毫秒。

熱傳感器實現100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現腐蝕性氣體的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數字通信方式DeviceNet和EtherCAT進行。

長處

• 超快流量控制 200 毫秒

• 準確度±1%SP

• 工作溫度 5~50°C

• 金屬密封件

• 清潔（保證顆粒）

• 環境溫度補償傳感器

• EtherCAT通信

• 設備網絡™通信

超快流量控制

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導體制造過程中，需要在小型化的同時提高吞吐量。 即使在控制反應氣體流量的質量流量控制器中，對縮短流量控制的啟動（啟動）時間的需求也在增加。 超高速質量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器，不接觸流量傳感器和流量測量氣體，實現200ms的超高速響應。 非接觸式可實現腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

規格