lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計返回列表頁

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所在地東莞市

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更新時間：2024-03-24 12:42:22瀏覽次數(shù)：1487次

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陳霞

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產(chǎn)品簡介

測量范圍	1m3/h	類型	超聲波

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質(zhì)量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

詳情介紹

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

高溫質(zhì)量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。

塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應對腐蝕性氣體。

作為選項，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。

特點

最高工作溫度最高120°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
RS-485 通信

選擇

兼容液化氣
加熱塊

使用示例

液化氣、升華氣流量控制

CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來流動氣體。因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來確保的。 MC-3000L-TC 能夠進行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

規(guī)格

	溫度	最小壓差	最大壓差	精度	控制范圍	低標準	最高 F.S.	密封
低	80~100°C	50kPa	300kPa	±1%F.S.	2~100%F.S.	10SCCM	25SLM	金
高	100~120°C	50kPa	300kPa	±1%F.S.	2~100%F.S.	10SCCM	25SLM	金