一套純化水設備可能涉及到水罐、水泵、預處理系統、保安過濾器、RO膜、EDI、紫外線殺菌器、臭氧殺菌器、拋光混床、電柜箱等部件。由于行業不同、原水水質、產水量以及產水要求不同，不同純化水設備需要用到部件也會有所差異。
1、水罐：按材質可分為304、316、PE三種水罐，因表面制作工藝不同，有部分不銹鋼水罐又稱為波紋水罐。水罐的作用有儲存、沉淀兩種。當自來水斷水，水罐發揮儲存作用，讓系統的進水壓力與水量保持穩定運行。也可以讓自來水中的懸浮物、膠體、顆粒形成沉淀，利于后續設備進一步處理。
2、水泵：離心泵有臥式泵和立式泵兩種。水泵在不同位置，所起到的作用不同，可以為設備提供動力，也可以作為潔凈泵，采用變頻控制，確保恒壓供水。
3、預處理系統：常用的預處理容器罐，包括多介質過濾器、軟化器過濾器、活性炭過濾器。其中，多介質過濾器使用不同粒徑大小的石英砂組成幾個過濾層，可以去除水中的懸浮物、膠體、其他微粒。設有取樣閥，定期檢測產水SDI值≤5；軟化器過濾器運用陽離子交換原理將原水通過鈉型陽離子交換樹脂，降低原水硬度防止反滲透膜表面結垢，終影響反滲透膜的使用性能和壽命；活性炭過濾器主要為了吸附去除水中色素、異味、有機物、余氯，保護RO膜不被氧化影響產水水質。
4、保安過濾器：按連接方式不同可分為牙接式保安過濾器、卡箍式保安過濾器以及法蘭式保安過濾器。正常情況下，去除水中≥5μm的顆粒雜質，防止≥5μm顆粒物進入RO系統。濾芯更換周期1-3個月一次。
5、RO系統：RO膜殼主要分有不銹鋼膜殼和玻璃鋼膜殼。RO膜是在高于溶液滲透壓的作用下，依據其他物質不能透過半透膜 而將這些物質和水分離開來。是在高于溶液滲透壓的作用下，依據其他物質不能透過半透膜 而將這些物質和水分離開來。以自來水為原水的情況下一級RO的產水電導率≤10μS/cm，二級RO的產水電導率≤2μS/cm。二級RO濃水可回原水罐循環利用，節約水源。RO膜采用常溫耐化學消毒RO膜，一般情況下，RO膜更換周期為2~3年一次。
6、EDI：其工作原理為通過陽陰離子膜對陽陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度除鹽的目的。EDI濃水回流到原水罐循環利用，節約水源。更換周期約3~5年一次。
7、紫外線殺菌器：主要為了殺滅水中游離微生物，延長分配系統消毒周期。
8、臭氧殺菌器：采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧，在一定濃度下可迅速殺滅空氣、液體中的細菌。
9、拋光混床：拋光混床又稱一次性混床，一般情況用在工藝末端，用來更進一步提高產水水質。拋光混床的樹脂是不能再生重復使用的。所謂拋光的意思就是樹脂的表面處理情況。拋光樹脂出廠的離子型態都是H、OH型，裝填后及可使用無需再生，一般用于半導體行業。
10、操作電柜：按照材質可分為不銹鋼電柜和烤漆電柜，主要由PLC控制系統、各類儀表和電器元件組成，對純化水設備進行控制。
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