采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點  
電子工業超純水設備特點
    電子工業超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。  
電子工業超純水的應用領域

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；

2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；

3、實驗室和中試車間用超純水；

4、汽車、家電表面拋光處理；

5、光電子產品；

6、其他高科技精微產品；

7、超純材料和超純化學試劑
8、實驗室和中試車間