集成電路污染物成分復雜，廢氣種類多，而且這些廢氣中大部分是含有有毒有害物質，它不僅影響生產人員健康，而且周圍的環境造成一定的影響，因此，必須加強治理和控制，那么集成電路廢氣處理系統應如何設計呢?
      集成電路生產線一般是24小時運行的流水線,廢氣處理系統的設計應安全可靠。廢氣處理系統的入口靜壓不能波動太大,否則輕則導致工藝設備的報警,重則導致芯片的報廢,只能在年度定期檢修時可以考慮維持一定的靜壓。設計時必須考慮排風機的余量,排風機為變頻風機,設計為N+1方式。另外廢氣系統的制作材料也很關鍵,必須安全可靠。早期的酸堿性廢氣的管配件為聚氯乙烯(PVC),但酸堿性廢氣的成分比較復雜,集成電路一些事故表明,PVC不能滿足防爆要求。現在的集成電路企業所采用的酸堿性廢氣的管配件為內襯聚四氟乙烯的不銹鋼板;熱無處理廢氣一般采用鍍鋅鋼板的材料;有機廢氣和粉塵廢氣一般采用不銹鋼的材料。
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