XEIA3 集非凡的超高分辨成像能力和優異的微細加工于一體。強大且超快速的微/納米 FIB 加工、低能電子束下的超高分辨率（UHR）、超快且可靠的微量分析和三維重構功能，使得 XEIA3 成為一款理想易用的 FIB-SEM 系統。
Triglav™ -新型超高分辨率 ( UHR ) 電子光學鏡筒
- TriLens™物鏡系統：*的電子束無交叉模式與超高分辨率物鏡相結合
- 具有多個 SE 及 BSE 探測器的*探測系統
- TriSE™+ TriBE™
- Triglav™ - 低加速電壓下的超高分辨率:1 nm (1 kV ), 0.7 nm (15 kV )
- EquiPower™ 進一步提高電子束的穩定性
- 電子束流高達 400nA，并能實現電子束能量的快速改變
- 優化的鏡筒幾何設計大可容納 8” 晶圓
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