影響三氯化鐵蝕刻速度的因素

【資料簡介】

影響蝕刻速率因素
蝕刻液中的三價鐵的濃度和蝕刻液的溫度有很大的關聯。

蝕刻液溫度越高，蝕刻速度也就越快，溫度的選擇應以不損壞抗蝕層為原則。

三氯化鐵里面的三價鐵的濃度對蝕刻數率有很大的影響，蝕刻液中的三價鐵濃度逐漸增加，對銅的蝕刻速率相應加快，當所含三價鐵超過其一濃度時，由于溶液粘度增加，蝕刻速率反有所降低。