真空區域的劃分及前級真空泵的選擇

【資料簡介】

真空泵真空區域的劃分 真空區域 壓強范圍 托（Torr） 帕（Pa） 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10-3 1333~1.33×10-1 高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10 *真空 ＜10-12 ＜10-10 對于需要配前級泵的抽氣機組，主泵選完之后，重要的問題是如何選配合適的前級泵和預抽泵。選配前級泵的原則是：     （1）前級泵在主泵出口處造成的壓力應低于主泵的zui大排氣壓力     （2）前級泵應保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。     （3）兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間及預抽真空度的要求。     根據主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級泵，如擴散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預抽真空泵，而不需要配前級泵，如各種吸附冷凝泵等。      主泵配前級泵計算時，需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的zui大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的zui大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的zui大排氣壓力一般為130~260yPa左右。 真空泵：雙級旋片式真空泵     直聯水環式真空泵   小型真空泵   2X旋片真空泵