日本motoyama薄膜晶體制造設備LPE爐技術

【資料簡介】

日本motoyama薄膜晶體制造設備LPE爐技術

 

設備概述

LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設備在日本擁有100多個單位。它由高精度垂直管式爐，旋轉升降驅動軸和控制單元組成，控制單元具有*的溫度控制精度，可實現高效的薄膜晶體生產。

 

特征

• 優異的均熱特性
• 高精度樣品軸旋轉升降驅動機構
• 也可以添加到現有的熔爐中（有限制）

選項

• 惰性氣體引入機制
• 液體接觸電信號
• 排氣罩
• 根據實際制造過程進行計算機自動操作控制（也可以中斷手動操作）

通過預先輸入過程詳細信息，將以確定的值自動執行目的地，移動速度，旋轉狀態和旋轉速度。

LPE薄膜晶體制造設備規格
加熱器容量	單相200V 2.3kW x 3個區域
加熱室尺寸 　直徑x高度mm	φ280×H650毫米
常溫	800℃?900℃
z高溫度	1000℃
溫度分布	±2℃（空氣爐穩定在850℃時，φ100×H200mm的空間）
溫度波動范圍	±0.2℃（空氣爐穩定在850℃時，φ100×H200mm的空間）
加熱元件	SSS加熱器
芯管	φ220×φ205×L800mm

 

LPE熔爐驅動單元（樣品軸）規格
提升速度	20-300毫米/分鐘
停止精度	±1mm以內
旋轉方式	前進/后退
轉速	20-300 rpm（帶軟啟動）
轉速波動精度	在±1％FS之內