電子超純水的氮封閥門優化方案

【資料簡介】

電子超純水的氮封閥門優化方案本實用新型屬于超純水氮封裝技術領域，具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統。指揮器操作型自力式壓力調節閥(以下簡稱調壓閥),是一種無需外來能源，利用被控介質自身能量作動力源，引入指揮器的檢測執行機構，以控制調壓閥的閥芯位置，改變流經閥門的介質流量，使閥后壓力保持在恒定值。該閥的特點:壓力設定值可在指揮器上實現，在運行中可隨意調整,因而方便、快捷、省力；控制精度比一般調壓閥高一倍左右；減壓比大;設定壓力低等。

電子超純水的氮封閥門優化方案背景技術：
在范圍內，新材料不斷研發和進步，對水的需求越來越高，同時，水資源日趨匱乏也是企業所面臨的現狀，因此，水技術市場的發展前景是*的。
純水和超純水的生產便是其中非常重要的組成部分。在電子半導體行業的生產工序中需要用到大量的超純水進行沖洗，edi系統制取出的超純水需要進行封存，不能與空氣接觸，否則空氣中的co2、o2和雜質會因接觸水體而影響水質。

一種純水系統的氮氣節能裝置，包括純水箱，氮氣進氣管及補水管，所述純水箱還通過水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連，還設置有進水閥和液位計，其通過液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接，達到節約氮氣消耗量的目的，通過在純水水箱中設置的氮封閥等氮封系統，使水箱內氮氣的氣相空間壓力維持在2.5kpa左右，當氣相空間壓力高于2.5kpa時，氮封閥關閉，停止氮氣供應；當氣相空間壓力低于2.5kpa時，一種純水系統的氮氣節能裝置，采用空氣減壓閥、電磁閥的設置，通過微調壓力表，用來檢測氮封水箱中的氮氣壓力，根據氮封水箱氮氣壓力控制，調節氮氣輸出。
調壓閥由指揮器、主閥、節流閥、過濾減壓器所組成(見圖一)。介質由箭頭方向進入閥體,經閥芯、閥座節流后輸出。同時閥前介質經過濾減壓器過濾減壓后進入指揮器閥體，經指揮器調節后進入主閥執行機構上下膜室。閥后介質經接管引入指揮器檢測膜室，當輸出壓力升高時，經指揮器和節流閥作用關閉主閥,直到閥后壓力降低到設定值為止。同理，當輸出壓力降低時，經指揮器和節流閥作用開啟主閥,直到閥后壓力上升到設定值為止。

規 格      型 號	薄膜式
用    途	調  節
膜片材質	丁橡膠、氟橡膠、耐油橡膠
接    口	M16×1.5
作用方式	壓力升高閥門打開、壓力升高閥門關閉
使用溫度	氣體：-20～+120℃
標配閥門附件	取壓管(含取壓接頭)
可選閥門附件	取壓接管、截止閥、壓力表、法蘭、墊片及緊固件

技術實現要素：
針對上述問題，本實用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統，用于edi系統制取的超純水的封存，通過設置比例調節閥的開度與外供泵的流量聯鎖控制，可根據外供泵的流量大小，控制比例調節閥的開度，調節進入氮封水箱的通道，終達到一個氮封水箱液位恒定的目的，達到節省高純氮氣的目的。

本實用新型解決上述問題的技術方案如下：
用于電子超純水的氮封系統，包含有：
一純水產水裝置，用于制造純凈水；
一氮封水箱，用于承接、存放所述純水產水裝置所制造的純凈水；
一氮氣氣源，用于提供所述氮封水箱實現氮封所需的氮氣；
一外供管路，其上設置有至少一個外供泵，用于將所述氮封水箱內的純凈水向外輸送；
一比例調節閥，設置于所述純水產水裝置與所述氮封水箱相連通的管路上，所述比例調節閥還與副容器相連通；
一plc控制系統，其將所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述外供泵的流量輸出值相聯鎖。

所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述外供泵的流量輸出值通過控制器相聯鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調節閥相連，另一個控制端與所述外供泵相連，當所述外供泵的流量增大時，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向副容器的流量減?。?，當所述外供泵的流量減小時，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減小（流向副容器的流量增大）。
作為上述技術方案的優選，所述氮封水箱上設置有一液位計，所述液位計通過設置于所述氮封水箱內的液位傳感器輸出液位數據。
作為上述技術方案的優選，所述plc控制系統將所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數據相聯鎖。
所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數據通過控制器相聯鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調節閥相連，另一個控制端與所述液位傳感器相連，當所述液位傳感器輸出液位數據升高時，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向副容器的流量減?。?，當所述液位傳感器輸出液位數據降低時，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減?。飨蚋比萜鞯牧髁吭龃螅?。
作為上述技術方案的優選，所述氮氣氣源與所述氮封水箱相連通的管路上依次設置有減壓閥和氮封閥。
作為上述技術方案的優選，所述比例調節閥為一個三通閥，分別與所述純水產水裝置、所述氮封水箱和所述副容器相連通。
作為上述技術方案的優選，所述純水產水裝置為edi產水裝置。
作為上述技術方案的優選，所述副容器為一級反滲透產水箱。
作為上述技術方案的優選，所述氮封水箱的上部設置有水封管路，所述水封管路的出口與水封箱相連通。
作為上述技術方案的優選，所述氮封水箱的頂部設置有呼吸閥。
作為上述技術方案的優選，所述氮封水箱的底部設置有排放管路，所述排放管路連通有排放水箱。
綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：
本申請提供一種用于電子超純水的氮封系統，用于edi系統制取的超純水的封存，通過設置比例調節閥的開度與外供泵的流量聯鎖控制，可根據外供泵的流量大小，控制比例調節閥的開度，調節進入氮封水箱的通道，終達到一個氮封水箱液位恒定的目的，達到節省高純氮氣的目的。

安裝與維護
3.1安裝
Ø 安裝前應檢查產品型號、規格是否符合要求，管道應進行清洗，清除焊渣與雜物等，閥門應正立、垂直安裝在管道上，介質流向應與閥體箭頭一致。如有可能應設置旁通閥。
Ø 為確保調壓閥正常工作，在閥前應設置過濾器、壓力表與手控閥，安裝圖見圖二。
3.2 使用
Ø 緩慢將調節閥前、后截止閥開到大，此時因介質引入調節閥，可觀察壓力表示值。
Ø 逐漸關閉旁通閥，打開殼罩，并調整彈簧預緊力，直到壓力表示值達到工藝要求為止。
Ø 鎖緊螺母，蓋上殼罩。

3.2 維護保養
該裝置投入正常運行后無需特殊維護,但需定期對指揮器、節流閥和過濾減壓器進行清洗,若出現故障，按表四進行處理。所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數據通過控制器相聯鎖，所述控制器可以為單片機，其一個控制端與所述比例調節閥相連，另一個控制端與所述液位傳感器相連，當所述液位傳感器輸出液位數據升高時，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度增大（流向一級反滲透產水箱的流量減?。斔鲆何粋鞲衅鬏敵鲆何粩祿档蜁r，所述比例調節閥流通向所述氮封水箱的閥門開度減小（流向一級反滲透產水箱的流量增大）。