目前一體化地埋式污水處理設備已逐漸發展成接觸氧化工藝和MBR工藝等兩大工藝。而污水處理使用MBR工藝與接觸氧化法相比處理作用更好，殘留污泥率更低，出水水質可達到城市污水處理排放規范。

MBR地埋式污水處理設備，是活性污泥生物處理技術與膜分離技術相結合的一種新工藝。使用中空纖維膜替代沉淀池，同時利用膜的特性，使活性污泥不隨出水流失，在生化池中形成高濃度的活性污泥濃度，使污染物分解*，因此出水水質良好、穩定，出水細菌、懸浮物和濁度接近于零。
MBR地埋式污水處理設備對水質的適應性好，耐沖擊負荷性能好，出水水質優良、穩定；池中采用新型彈性立體填料，比表面積大，微生物易掛膜、脫膜，在同樣有機物負荷條件下，對有機物去除率高，能提高空氣中的氧在水中的溶解度。MBR污水處理設備的前期投入較高，后期的污水處理費用只有傳統的一半，但是要定期對膜進行清洗，且平均4-5年需要更換膜組件，換膜需要的費用并不低。

一體化地埋式污水處理設備MBR工藝與A/O接觸氧化工藝對比：
A/O工藝即厭氧-好氧活性污泥法。是由厭氧和好氧兩部分反應組成的，是一種生物處理工藝。污水進入厭氧池后與回流污泥混合。活性污泥中的聚磷菌在這一過程中有效降低污水中的BOD，并將污泥中的磷以正磷酸鹽的形式釋放到混合液中。混合液進入好氧池后，有機物被氧化分解，同時聚磷菌大量吸收混合液中的正磷酸鹽到污泥中。聚磷菌在好氧條件能大量污水中的磷，污水經過“厭氧-好氧”的交替作用和二沉池的污泥分離作用，達到除磷的目的。
采用A/O工藝的地埋式污水處理設備，能有效降低有機污染物并且能除磷脫氮，運行管理較為簡便。由于填料的比表面積大，池內的充氧條件良好，生物接觸氧化池內單位容積的生物固體量高，再加上污泥回流，反應池內活性污泥濃度較高，因此兼有活性污泥法的特點，具有較高的容積負荷。由于生物固體量多，當有機容積負荷較高時，其F/M比可以保持在一定水平，因此污泥產量可相當于或低于活性污泥法。是當前較為成熟的生活污水處理工藝，能有效地確保污水達標排放