干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。
 

　　干式螺桿真空泵運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動)，使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。
 

　　在干式螺桿真空泵中，吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件，它們工作的好壞直接影響往復泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運行的可靠性。
 

　　目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大，真空獲得產品已經出現更新換代的局面，大量的有油真空系統已經被無油清潔的真空系統所代替。真空泵是一個量大面廣的產品，產量很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的*的基礎產品。目前國外制藥精細化工行業干式螺桿真空泵占全部真空泵的60%左右，目前國內在此行業只占到10%-20%，而且隨著環保形勢的嚴峻化，這一比例還在不斷上升。通過對真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證有些泵還出口國外得到國外用戶的認可并受到好評應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。
 

　　液環泵
 

　　雖然液環泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。在國外液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵。由于液環泵大部分是鑄件加工要求也不高屬勞動密集型產品所以國產液環泵在價格上有競爭優勢。
 

　　干泵
 

　　國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、制藥、薄膜產業的迅速發展。在日本半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產品的性能和質量。據統計目前國產干式螺桿真空泵的應用占比大約在10%-20%，隨著我國環保形勢日趨嚴峻，這一比例將在新建項目中將不斷擴大。從沃爾姆干式螺桿真空泵的每年銷售數量上看，一直處于增長上升中。
 

　　干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段，很多技術難題還沒有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術，降低排氣口的溫度，增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手，當抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高，安全性也是需要設計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向，但其*的性能決定了它一定會在真空獲得設備行業占主導地位，就像現在螺桿壓縮機在行業內的統治地位一樣。