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長春博盛量子科技
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LTHS2運動范圍XY（m）75分辨率XY（nm）0
| | LTHS2 |
| 運動范圍XY（µm） | 75 |
| 分辨率XY（nm） | 0,075 |
| 典型的噪聲基準 XY（nm） | 0,0075 |
| 的重復性XY（nm） | 0,15 |
| 線性化（典型的） | 0,02% |
| 諧振頻率X / Y（Hz） | 1500/1000 |
| 剛度 (N/µm) | 2/2 |
| 負載（kg）-水平使用 | 0,5 |
| 負載（kg）-垂直使用 | 0,3 |
| 傳感器 | Silicon HR sensor |
| 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 190 x 18,5 |
| 材料 | Al |
| 電纜長度（m） | 2 |
| 推薦控制器 | Standard or High Speed |
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