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上海振暢機電有限公司

萊寶真空泵在半導體行業中的使用說明

時間:2020-2-7閱讀:641
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萊寶真空泵是單極油封旋轉葉片泵。 泵本身具有止回油閥,氣鎮閥(可選),出口過濾器,回油管路和油冷卻回路。 泵由直接法蘭電機驅動。
  安裝在萊寶真空泵體內的偏心轉子具有三個葉片,這些葉片將泵分成三個隔室,每個隔室的容積會隨著轉子的旋轉而周期性地變化。
  當轉子旋轉時,真空腔的進氣部分的體積擴大,并且氣體從進氣口被吸入,氣體通過空氣過濾器元件,并且打開的止回閥進入腔泵。 隨著轉子的進一步旋轉,葉片將泵腔部分與吸入口分開。 泵腔的體積減小,氣體被壓縮。 氣體以略高于大氣壓的壓力通過排氣閥從泵腔中排出。


  當泵注入泵腔時,油用于密封,潤滑和冷卻泵。 由于轉向,壓縮氣體夾帶的油在油箱中。 然后在出口油霧分離器中將其*過濾。 結果,廢氣中的油含量下降到可見水平以下。
  萊寶真空泵真空設備在所有半導體生產過程中都發揮著極其重要的作用。 對于特殊的生產要求,必須選擇合適的真空設備。
  在過去的幾年中,為了*半導體行業的需求,我們縮短了產品開發周期,并更快地推出了新產品,從而大大提高了我們的服務質量。
  萊寶真空泵需要在真空下運行的分析儀器行業是真空設備市場中的供應商之一。 這個市場包括各種設計的平面分析儀器,質譜儀,電子顯微鏡和氦氣檢漏儀系列。
  我們的產品種類繁多,適用于實驗室研發和*簡單的桌面操作。 一些關鍵性能參數顯示了萊寶真空泵,測量設備和部件的工作能力,緊湊的結構設計,*的技術水平和良好的穩定性能。

上海振暢機電科技有限公司
地址:寶山區月羅公路2120號

 

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