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MEMS電容三軸加速度傳感器

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參考價(jià): ￥ 1500

訂貨量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)FH413A05

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地西安市

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聯(lián)系方式：周斌查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-04-23 14:50:07瀏覽次數(shù)：70次

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西安方恒電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：14條

所在地區(qū)：陜西西安市

聯(lián)系人：周斌（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

材料	金屬	材料晶體結(jié)構(gòu)	多晶
材料物理性質(zhì)	半導(dǎo)體	遲滯	1%F.S
防護(hù)等級(jí)	IP67	分辨率	0.01
加工定制	是	靈敏度	400MV/g
輸出信號(hào)	模擬型	線性度	1%F.S
制作工藝	陶瓷	重復(fù)性	1%F.S

FH413A05MEMS電容三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。本產(chǎn)品可用于汽車(chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。

詳細(xì)介紹

FH413A05MEMS電容三軸加速度傳感器說(shuō)明書(shū)

一、簡(jiǎn)介

FH413A05 MEMS電容三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有 BIMOS 信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具自檢測(cè)（Self-Test）等功能，可實(shí)現(xiàn)自檢測(cè)。

本產(chǎn)品可用于汽車(chē)測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。

二、原理

FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié) 構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。

MEMS電容三軸加速度傳感器

三、技術(shù)條件

性能	FH413A性能
	Ax ，Ay ，Az
測(cè)量范圍（ g）	±2	±4	±5	± 10	±20	±40
靈敏度（mV/g）	1000±50	500±50	400±30	200±20	100±10	50±5
帶寬（10%，Hz）	0～500
零 g 偏置電壓（V）	2.5±0.05
滿量程輸出（V）	0.5-4.5
零偏溫度變化（mg/ °C）	±0.2~ ±0.8
交叉軸影響（%）	≤2
非線性度(％F.S)	≤0.1
噪聲密度（ug/ √Hz）	20~80
供電要求
供電電壓(VDC)	12±0.5
輸入電流（mA）	≤20
工作環(huán)境