甲醛（CH2O）
也叫蟻醛，無色有刺激性氣味的氣體，對人眼、鼻等有刺激作用。主要來源于建筑材料、家具制造、化妝品等，長期接觸可能導致癌癥。
甲醛接觸限值
室內環境：根據中國的《室內空氣質量標準》(GB/T 18883-2002)，室內甲醛的濃度限值為 0.1mg/m³，換算后約為 0.08ppm
按照住房和城鄉建設部頒布的要求，房屋裝修后強通風后封閉1小時，甲醛釋放數值每立方米小于或等于 0.1mg 則屬于標準范圍，即約 0.07ppm
工作場所：美國政府工業衛生學家會議(ACGIH)規定的甲醛閾限值為 2ppm，這是指在該濃度下，幾乎所有工人日復一日反復暴露都不致受到不良影響.
對敏感人群的建議：孕婦和小孩等抵抗力較弱的人群，室內甲醛濃度標準應在 0.06mg/m³ 以下，即約 0.05ppm
22.苯（C6H6）
無色透明液體，具有特殊芳香氣味，易揮發為有毒氣體。多來自石油化工、溶劑、塑料生產等，長期接觸會影響骨髓，導致再生障礙性貧血，甚至增加白血病風險。
接觸限值：根據 2022 年 11 月 8 日國家衛生健康委員會發布的 GBZ 2.1—2019《工作場所有害因素職業接觸限值 第 1 部分：化學有害因素》第 1 號修改單，苯的時間加權平均容許濃度(PC-TWA)為 3mg/m³，短時間接觸容許濃度(PC-STEL)為 6mg/m³ 。換算后 PC-TWA 約為 0.95ppm，PC-STEL 約為 1.9ppm
23.光氣（COCL2）
無色氣體，有爛干草或爛蘋果味。在光氣生產、氯代烴高溫燃燒、光氣有機合成及制造染料、農藥、醫藥等生產中可接觸到，主要引起呼吸道粘膜刺激癥狀，重者可引起支氣管痙攣、化學性炎癥、肺水腫、窒息等。
接觸限值：根據《工作場所有害因素職業接觸限值 化學有害因素》(GBZ 2.1-2007)，光氣的最高容許濃度(MAC)為 0.5mg/m³，換算后約為 0.29ppm
24.氰化氫（HCN）
一種劇毒氣體，有苦杏仁味。常用于化工生產、金屬提煉、塑料制造等，會抑制細胞呼吸，導致頭痛、呼吸衰竭，嚴重時可致死。
接觸限值：最高容許濃度為 0.3mg/m³，換算后約為 0.11ppm；有限空間作業安全指南：時間加權平均濃度限值為 5ppm，短時暴露限值為 10ppm
25.硅烷（SiH4）
硅烷是一種有毒、易燃的氣體。它在空氣中能自燃，燃燒產物為二氧化硅和水。硅烷對人體的呼吸道、眼睛和皮膚有強烈的刺激作用。吸入高濃度硅烷會引起頭痛、頭暈、呼吸困難等癥狀，嚴重時可導致肺水腫和化學性肺炎。
在光伏產業中，硅烷是一種重要的氣體。它主要用于半導體和光伏電池制造過程中的化學氣相沉積(CVD)工藝，例如多晶硅薄膜的制備。在這個過程中，硅烷在高溫和特定的反應條件下分解，沉積在基底材料上形成硅薄膜。
26.磷烷（PH3）
磷烷是一種劇毒氣體，有類似于大蒜的氣味。它主要影響人體的呼吸系統和神經系統。吸入磷烷后，會引起咳嗽、呼吸困難、頭暈、乏力等癥狀。高濃度的磷烷會導致嚴重的中毒反應，如肺水腫、抽搐甚至死亡。
在光伏電池制造中，磷烷用于摻雜工藝，特別是在 N - 型半導體材料的制備過程中。它與硅等半導體材料發生反應，將磷原子引入材料的晶格結構中，以改變材料的電學性質。
接觸限值：
工作場所職業接觸限值：在中國，磷烷(磷化氫)的時間加權平均容許濃度(PC - TWA)為 0.3mg/m³。按照理想氣體狀態方程進行換算(在標準狀況下，1mg/m³ 約等于 0.73ppm)，約為 0.22ppm。這意味著在正常工作環境下，長期接觸磷烷的濃度平均下來應控制在這個限度以下，以保障工作人員的健康。
短期接觸限制：、磷烷的短時間接觸容許濃度(PC - STEL)為 0.6mg/m³，約合 0.44ppm。這表示在短時間(15 分鐘)內，人體可承受的磷烷濃度一般不超過這個數值。當超過這個濃度時，可能會對人體產生不良影響。
立即威脅生命和健康濃度（IDLH）：對于磷烷而言，其 IDLH 值為 200ppm。這是一個非常危險的濃度界限，當環境中的磷烷濃度達到或超過這個值時，會對生命和健康造成直接的、嚴重的威脅，接觸者可能會在短時間內出現嚴重的中毒癥狀，甚至死亡。在這種情況下，必須立即采取緊急救援措施，如使用自給式正壓呼吸器等進行逃生。
27.氯氣（CL2）
氯氣是一種具有強烈刺激性氣味的劇毒氣體。它對人體的呼吸道、眼睛和皮膚有嚴重的刺激作用。吸入氯氣后，會引起咳嗽、呼吸困難、胸悶、眼睛刺痛等癥狀。高濃度的氯氣吸入會導致肺水腫和呼吸衰竭。
在光伏產業的一些清洗和蝕刻工藝中可能會用到氯氣。例如，在對硅片等材料進行清洗以去除表面的雜質和污染物，或者在蝕刻工藝中用于選擇性地去除某些材料層時，氯氣作為一種強氧化劑被使用。
接觸限值：《工作場所有害因素職業接觸限值 化學有害因素》(GBZ2.1-2007)中規定，氯氣的最高容許濃度(MAC)為 1mg/m³，換算下來越0.315PPM
28.氯化氫（HCL）
氯化氫是一種有刺激性氣味的酸性氣體，對人體的呼吸道、眼睛等有強烈的刺激作用。吸入高濃度氯化氫會引起咳嗽、喉嚨疼痛、呼吸困難等癥狀，嚴重時可導致化學性肺炎和肺水腫。
在光伏電池制造的蝕刻工藝中，使用鹽酸等含氯的化學試劑進行蝕刻反應后，會產生氯化氫氣體。例如，在硅片蝕刻過程中，當使用鹽酸與其他物質反應來去除硅片表面的特定材料層時，反應的副產物之一就是氯化氫。
接觸限值：《工作場所有害因素職業接觸限值 化學有害因素》(GBZ 2.1-2007)中規定氯化氫的最高容許濃度(MAC)為 7.5mg/m³ ，換算后約為 4.5ppm
29.氟化氫（HF）
氟化氫是一種劇毒氣體，對人體的呼吸道、眼睛和皮膚有強烈的腐蝕作用。它能與人體內的鈣、鎂等元素結合，導致血鈣降低等生理異常。吸入高濃度氟化氫會引起咳嗽、呼吸困難、胸痛等癥狀，皮膚接觸會導致嚴重的灼傷。
在光伏行業的硅片清洗和蝕刻過程中，氫氟酸是一種常用的化學試劑。它用于去除硅片表面的二氧化硅層等雜質。在使用過程中，氫氟酸會揮發產生有毒的氟化氫氣體。
接觸限值：根據《工作場所有害因素職業接觸限值 化學有害因素》(GBZ 2.1-2019)，氟化氫(按 F 計)的最高容許濃度(MAC)為 2mg/m³，換算后約為 1.19ppm
