水平式真空式等離子清洗機是一種專門設計用于在水平方向上對材料進行處理的設備，它結合了真空技術和等離子體技術，主要用于精密材料的表面清洗、活化或涂層前預處理。這種設備的主要組成部分包括以下幾個關鍵系統：
1. 真空系統：
- 真空腔體：這是等離子清洗機的核心部分，通常由高質量的金屬或耐腐蝕材料制成，確保真空密封和輻射防護。
- 真空泵：用于抽取空氣，創造真空環境，常見的有渦輪分子泵、旋片泵、油擴散泵等。
- 壓強感應器：用于測量和監控腔體內的真空度。
- 閥門：控制氣體進出和維持腔體壓力。
- 密封件：確保真空腔體的密封性，防止漏氣。
2. 放電系統：
- 放電腔體：等離子體生成的場所。
- 電極結構：通常由平行極板組成，用于產生電場，引發氣體放電形成等離子體。
- 工件支座：用于固定和定位待處理的工件，有時位于下電極上。
- 電源及匹配網絡：提供能量給電極，產生等離子體，通常使用射頻(RF)電源，具有高可靠性和穩定性。
3. 氣體供給系統：
- 氣管：用于輸送反應氣體至放電腔體。
- 流量計：精確控制氣體的流量，確保等離子體的穩定生成。
- 閥門：控制氣體的開關和調節流量。
4. 控制系統：
- 電源控制：控制電源輸出功率，確保等離子體產生的穩定性和效率。
- 放電時間控制：設定和監控等離子體處理的時間。
- 氣壓和流量控制：調整氣體的壓力和流量，以達到的清洗效果。
- 溫度監控：監測設備內部的溫度，防止過熱。
- 用戶界面：可能包括觸摸屏或計算機界面，用于設置參數和監控設備狀態。
5. 安全和保護系統：
- 過溫保護：防止設備因過熱而損壞。
- 反射功率保護：當負載不匹配時，保護電源免受反射功率的損害。
這些組成部分共同協作，使得水平式真空式等離子清洗機能夠精確、有效地對材料表面進行清洗和處理。
