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北京科翰龍半導體裝備科技有限公司
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全自動晶圓磨邊機為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工
全自動晶圓磨邊機為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓、8″-12″晶圓
適用于晶圓倒角、晶圓磨邊及層階倒角加工
機械臂自動上下料，全自動生產
可加工參考邊型晶圓及Notch型晶圓
自動進行粗研及精研加工
可自動檢測晶圓直徑
配備晶圓清洗功能
配備晶圓干燥功能
可選配SECS/GEM與MES系統聯接
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