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北京卓立漢光儀器有限公司
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UFP系列高靈敏度光纖耦合系統
| 型號 | UFP3C-L | UFP3C-R | UFP5C | UFP5C-R | UFP6C-L | UFP6C-R | ||
| 行程 (靈敏度) | X | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | ||||||
| Y | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | |||||||
| Z | 粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) | |||||||
| θx | - | - | ±3°(≤25.2″) | |||||
| θy | - | - | ±3°(≤23.4″) | |||||
| θz | - | - | - | - | ±4°(≤34″) | |||
| 導向機構 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱導軌+交叉滾柱軸環 | ||||||
| 驅動方式 | 分厘卡 | |||||||
| 主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色陽極氧化處理 | |||||||
| 自重(Kg) | 1.74 | 2.37 | 2.7 | |||||
| 負載(Kg) | 1.5 | 1 | 0.5 |
| ||||
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