應用方向：科研與教學

產品優勢：多功能，電子槍+熱阻蒸發，膜厚監控

產品配置：

★樣片數量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發腔體：高真空系統。

★蒸發不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉，轉速可調

★加熱：常規加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監控功能：石英晶控膜厚在線監測與終點控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復合實驗系統：通過復合mask系統與樣品對準系統，一次完成器件的多個工藝步驟

★檢測與控制光學特性功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動+半自動控制

類似產品： 大樣片蒸發鍍膜（MEB-800）