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當前位置:北京中科復華科技有限公司>>產品展示>>刻蝕設備>>感應耦合等離子刻蝕
感應耦合等離子體刻蝕系統利用射頻天線,通過感應耦合方式在放電腔中產生高密度等離子體,同時刻蝕工作臺引入射頻偏壓,射頻偏壓作用下,等離子體中垂直向下對被刻蝕材料表...
SENTECH感應耦合等離子刻蝕機SI 500是一款由SENTECH(德國)公司研發并生產的電感耦合等離子體(ICP)干法刻蝕系統。該產品以其高精度、低損傷、高...
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