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多弧離子真空鍍膜機(jī)BLL-1350PVD型

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丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司

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多弧離子真空鍍膜機(jī)BLL-1350PVD型是丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司主營(yíng)產(chǎn)品之一,憑借可靠的質(zhì)量,穩(wěn)定的性能,合理的價(jià)格,深受好評(píng),廠家足貨供應(yīng),請(qǐng)來(lái)此了解詳情,采購(gòu)請(qǐng)聯(lián)系.

詳細(xì)介紹

常規(guī)配置真空系統(tǒng)

真空泵：2X-70 SV300 E2M275

增壓泵：ZJP600 WAU2001 EH2600

高真空泵：分子泵低溫泵擴(kuò)散泵

真空室加熱系統(tǒng)：溫度：0到200℃

型號(hào)：不銹鋼管裝加熱器

基片架盤(pán)型號(hào)：12軸公轉(zhuǎn)或公自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速：0到30轉(zhuǎn)數(shù)/分軟啟，軟停，可調(diào)速電器控制系統(tǒng)：PC和PLC控制

VAC系統(tǒng)：進(jìn)口復(fù)合真空計(jì)

MFC系統(tǒng)：進(jìn)口質(zhì)量流量控制器；進(jìn)口電磁閥

APC系統(tǒng)：工藝氣體自動(dòng)恒壓控制系統(tǒng)

偏壓電源：直流脈沖電源