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遵化市富森鈦金設備有限公司
ARC16是針對衛浴產品等大中型產品開發的裝飾鍍機型
ARC16是針對衛浴產品等大中型產品開發的裝飾鍍機型,結構簡單,裝載量大,具體技術規格如下:
真空室尺寸 | ?1500mm * H1500mm |
極限真空度 | 3.0*10-4Pa |
壓升率 | 0.33Pa/hr(常態) |
冷卻水 | 6ton/hr |
占據空間 | 4*3*3.5m3 |
真空室 | 304不銹鋼,單層內襯,五年質保 |
抽氣系統 | 國產或進口分子泵+Leybold粗抽泵+羅茨泵 |
真空檢測 | 清華大學HY9940-1B |
流量控制 | Brooks/MKS/AE/匯博隆可選 |
轉架 | 上吊裝轉架或可移出式下轉架任選 |
磁控濺射 | 2組(4支,柱狀磁控濺射靶)可選 或1組(2支,平面矩形磁控濺射)可選 |
陰極電弧 | 4組(16套)(靶材規格100*40) |
偏壓電源 | 德國霍廷格偏壓Huettinger Bias 26KW 可選 美國AE 20KW偏壓 可選 或國產品牌偏壓 |
加熱系統 | 300度,3根熱電偶監測 |
冷卻水循環系統 | 配日本SMC水流開關,智能控制 |
電氣元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空開、接觸器。 |
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