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納加霍里科技(上海)有限公司


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TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500

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品       牌其他品牌

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所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2024-01-18 14:57:13瀏覽次數(shù):208次

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商鋪產(chǎn)品:200條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:劉佳睿 (銷售)

產(chǎn)品簡介

TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500
1.最多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
2.可以從ppm級(jí)別到廣泛濃度表示。
3.安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
4.傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
5.對(duì)高耐久的傳感器施以特殊涂層,進(jìn)一步提高耐久性

詳細(xì)介紹

氧化鋯氧濃度計(jì)測(cè)量原理

        對(duì)兩面進(jìn)行電極加工的氧化鋯陶瓷具有在高溫下,在一個(gè)電極部將氧分子離子化,在另一個(gè)電極部將氧離子還原為氧分子的性質(zhì)。這種性質(zhì)被稱為離子電導(dǎo),氧化鋯和陶瓷兩側(cè)的氧濃度差越大,離子電導(dǎo)的程度就越大。在此期間,兩個(gè)電極之間進(jìn)行電子的傳遞,離子電導(dǎo)的程度(即氧化鋯和陶瓷兩側(cè)的氧濃度之差)可以作為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢(shì)大小來提取。這個(gè)電動(dòng)勢(shì)如下圖所示,根據(jù)涅倫斯特的理論公式得到了穩(wěn)定的數(shù)值,因此東麗氧化鋯傳感器能夠顯示穩(wěn)定可靠的氧濃度值。

QQ截圖20240118144441.png

氧化鋯氧濃度計(jì)使用上的一般注意事項(xiàng)

    氧化鋯氧濃度儀在約700℃的高溫下工作。因此在以下情況下有可能無法測(cè)量并影響傳感器壽命。

  • 因?yàn)檠鯕鉂舛扔?jì)內(nèi)部有電爐,所以設(shè)置氣氛在防爆地區(qū)不能使用。

  • 可燃性氣體(例如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)混入氧氣計(jì)內(nèi)部時(shí),會(huì)引起燃燒反應(yīng),造成測(cè)量誤差。

  • 有機(jī)硅(用于密封材料等)會(huì)引起傳感器老化。(作為引起傳感器劣化的原因,這是非常多的原因之一。

  • 鹵素類(特別是氯)會(huì)引起傳感器不良。

  • 像一氧化碳這樣熱量高的物質(zhì)斷斷續(xù)續(xù)地混入的話,受到熱記錄引起傳感器不良。

  • 如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體,就會(huì)引起傳感器不良。

  • 氟利昂氣體在高溫下發(fā)生分離反應(yīng),有可能引起傳感器劣化。

  • 水滴、塵埃、霧是傳感器損壞、短壽命和誤差的原因。

QQ截圖20240118144113.png

氧氣濃度計(jì)MS-500


  • 最多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)

  • 可以從ppm級(jí)別到廣泛濃度表示。

  • 安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上

  • 傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)

  • 對(duì)高耐久的傳感器施以特殊涂層,進(jìn)一步提高耐久性

TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500

TORAY東麗 氧氣濃度計(jì)MS-500

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MS-500 機(jī)器仕様

測(cè)定原理ジルコニア濃淡電池式
形狀分離型(変換器:壁掛式、センサ:直挿式)
表示方式デジタル4桁表示(濃度表示)
測(cè)定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0atm
自動(dòng)レンジ
繰返性±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上
±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外
測(cè)定點(diǎn)數(shù)1~8
サンプルガス條件圧力10-3~200KPa(絶対圧)
流量0.5~5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測(cè)定)
濕度露點(diǎn)が周囲溫度以下
溫度0~100℃
その他腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機(jī)シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス大気
記録計(jì)出力伝送出力のみ
伝送出力RS-232C
警報(bào)出力なし
ウォームアップ時(shí)間6分以內(nèi)
寸法MS-500(コントローラ)92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず)
MS-510(変換機(jī))100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず)
センサユニットSD16NW全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
SD25NW全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
SD40NW全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質(zhì)量MS-500(コントローラ)約0.6Kg
MS-510(変換器)約0.5kg
センサユニットSD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部接続真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源24VDC±10%


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