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成都漢普升科技有限公司


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成都廠家 CJC系列磁控濺射鍍膜機 可定制

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參   考   價: 1000000

訂  貨  量: ≥1 套

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地成都市

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更新時間:2023-11-17 14:26:05瀏覽次數:275次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:32條

所在地區:四川成都市

聯系人:胡先生 (銷售)

產品簡介
產地 國產    

成都真空設備廠家 CJC系列磁控濺射鍍膜機 共濺射直流射頻兼容 粉末或顆粒上沉積薄膜 可定制

詳細介紹

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●該設備用于納米級單層或多層膜、類金剛石薄膜、金屬膜、導電膜、半導體膜和非導電膜等功能薄膜的制備,可實現共濺射,直流、射頻兼容,適于科研院所和企業進行功能薄膜研發、教學和新產品開發,同時可在微米級粉末或顆粒上沉積薄膜進而達到表面改性的功能。建議選用公Research系列磁控濺射平臺。


●主體結構:全封閉框架結構,機柜和主機為分體式機構。

●極限真空度:≤6.63×10-5Pa,壓升率優于國家標準。    

●真空配置:高速直聯旋片泵一臺,配置尾氣處理裝置,超高分子泵一臺。

●真空測量:兩路電阻規,一路電離規;電阻規和電離規均采用防爆型金屬封結真空規。

●工件架系統:行星工件盤與公轉工件盤可選,垂直濺射與共濺射兼容,可配置1個加熱臺,采用PID控制可烘烤加熱到700℃。

●磁控濺射系統:配置3個Φ50mm可折疊磁控靶(可擴展至4靶機構),向上濺射成膜;靶基距可調;靶內均通入冷卻水冷卻。

●電源 :2套直流電源;1套全固態射頻電源;一套200W直流偏壓電源。

●充氣系統:配置三路供氣,二路分別配置質量流量控制器,線性±0.5 % F.S,重復精度±0.2% F.S,0-5V輸出,在觸摸屏上設置流量。

●電氣控制系統:采用功能化模塊設計,匹配西門子人機界面+西門子控制單元,濺射時間可以設定并倒計時,能夠根據工藝需求自動濺射。


●特別說明:根據用戶不同的工況和工藝要求,公司愿與客戶聯合研發,共享知識產權,公司致力于工藝與設備的匹配,該設備為公司與電子科技大學聯合研發。


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