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合肥科晶材料技術有限公司
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型號： OTF-1200X-III-R5-PECVD 產品概述： OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強化學氣相沉積三溫區回轉管式爐系統（R-PECVD），等離子增強系統的引入可在相......
| 設備名稱 | 1200℃5英寸三溫區等離子增強粉體回轉爐系統 （2019.10.31-科晶實驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 爐體在0 - 25°內傾斜，有利于粉末樣品的裝卸； ? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性； ? 四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控； ? 配備自動進出料系統可實現連續生產，可保證在氣氛保護環境下進行粉體的進給和收集。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數 | 三溫區回轉爐 ? 溫度：1200℃（<> ? 三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃； ? 輸入功率：208-240 V，單相，功率：4 KW； ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗； ? 回轉爐旋轉速度：2-10 rpm； ? 爐體開啟式設計以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
更多參數請聯系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 |
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 設備尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H ? 供氣系統：600mm L×700mm W×700mm H ? 凈重：180 kg
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 國家 | 名稱：一種自動收送料等離子回轉升降爐系統 號：ZL 2020 2 0542143.6 尊重原創、鄙視抄襲、侵權必究。 |
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