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上海森懋機械設備有限公司


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B-A 型皮拉尼電容膜片真空計

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更新時間:2023-11-20 12:51:50瀏覽次數:155次

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產品簡介

益處BCG450可節省成本和工具空間

詳細介紹

益處

  • BCG450 可節省成本和工具空間,降低真空測量安裝與設置的復雜性
  • 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制,能夠對任何氣體混合物提供更為可靠的加載互鎖控制
  • 皮拉尼聯鎖保護熱絲,防止過早燒毀
  • 高真空皮拉尼自動調節,減少操作員干預
  • 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定
  • 易于更換的傳感元件與板載校準數據確保再現性
  • 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  • RoHS 合規

典型應用

  • 半導體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制



規格

類型

BCG450

測量范圍

5×10-10 … 1500

精度

 

10-8 … 50 毫巴

% of reading

±15

50 … 950 毫巴

% of reading

±5

950 … 1050 毫巴

% of reading

±2.5

可重復性

 

10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

熱離子發射

mbar

2×10-2 (high)

(可選高/低,通過 RS232 / 現場總線)

mbar

8×10-3 (low)

除氣 (1)

 

p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max. 3 min

壓力,更大

bar (absolute)

5

溫度

 

運行(環境)

°C

… +50

貯存

°C

-20 … +70

在法蘭處烘烤

°C

80

移除烘烤電子設備

°C

150

電源電壓

20 … 28 

輸出信號模擬

 

輸出信號

V

… 10.3

測量范圍輸出

V

0.774 … 10.3

電壓與壓強之間的關系

volts per decade

0.75

錯誤信號

V

0.3 / 0.5

更小負載

k

10

接口(數字)(2)

RS232C

連接器

D-Sub, 15-pin, male

電纜長度,**大 (3)

m (ft.)

100 (330)

暴露于真空的材料

Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass

內部容積 KF / CF

cm(in.3)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

285 / 550

保護等級

IP30

DeviceNet

 

協議

DeviceNet, group 2 slave only

數據率開關

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

電纜長度 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

電纜長度 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

MAC ID

2 switches (address 00 - 63) or network programmable

網絡規模

up to 64 nodes per segment

數字功能

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

可視通信指示器

LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

技術規格

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設備類型

''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊

polling only

設定點繼電器: 設定點數量

2

設定點繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 1400

設定點繼電器: 繼電器觸點

n.o., potential free

設定點繼電器: 滯后

% of reading

10

設定點繼電器: 觸點額定值

60

設定點繼電器: 連接器

D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 電源電壓

11 … 25 

真空計電源電壓

20 … 28

DeviceNet™ 連接器

Microstyle, 5-pin

BCG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP

 

波特率

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址

2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數字功能

rea, d pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能

… 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設定點繼電器: 設定點數量

2

設定點繼電器: 范圍

mbar

1×10-9 … 1400

設定點繼電器: 繼電器觸點

n.o., potential free

設定點繼電器: 滯后

% of reading

10

設定點繼電器: 觸點額定值

60

Profibus DP 連接器

D-Sub, 9-pin, female

BCG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器

D-Sub, 15-pin, male

(1) 除氣期間降低精度

(2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現場總線

(3) 適用于 RS232C 運行 <30m

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