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行業(yè)產(chǎn)品

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北京中科科美科技股份有限公司


蒸銻臺倍增級磁控鍍膜機(jī)

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更新時間:2023-12-15 11:58:42瀏覽次數(shù):169次

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產(chǎn)品簡介

倍增級磁控鍍膜機(jī)主要應(yīng)用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進(jìn)行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進(jìn)行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測,能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù),達(dá)到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

詳細(xì)介紹

  倍增級磁控鍍膜機(jī)主要應(yīng)用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進(jìn)行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進(jìn)行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測,能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù),達(dá)到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

  性能參數(shù):

  1)、磁控靶沉積單金屬銻;

  2)、腔體內(nèi)腔尺寸:Φ600x420;

  3)、具備偏壓清洗及輔助沉積功能;

  4)、極限真空;5.0x10-5Pa(從常溫、氮氣破真空狀態(tài)下抽限真空度時長≤4小時);

  5)、工作真空度:工作腔體真空度優(yōu)于2.0×10-2Pa(腔體加熱至300℃狀態(tài)下抽至工作真空度時長≤0.5小時);

  6)、烘烤溫度max 300℃,常溫狀態(tài)升溫至300℃時長≤20分鐘,溫度測試精度≤±2℃。

  7)、工件架:運行平穩(wěn),轉(zhuǎn)速可調(diào)0.5-5rpm;

  8)、產(chǎn)能約700件/日;

關(guān)鍵詞:鍍膜機(jī)
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