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南京覃思科技有限公司
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產(chǎn)品型號Q300T T Plus
品 牌
廠商性質其他
所 在 地南京市
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更新時間：2025-05-20 13:49:09瀏覽次數(shù)：26次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線Q300T T Plus三靶大腔室全自動濺射鍍膜儀
Q300T T Plus三靶大腔室全自動濺射鍍膜儀
Q300T T Plus用于200 mm直徑（8英寸）以下的大樣品或多個小樣品，是一個大腔室渦輪泵濺射鍍膜系統(tǒng)，適合薄膜研究和普通掃描電鏡/場發(fā)射掃描電鏡樣品制備應用。它配有三個獨立的濺射頭，以確保單個大樣品或多個小樣品的均勻沉積。對于小樣品的經(jīng)濟的鍍膜，可選擇“單靶”模式。Q300T T Plus被設計成濺射一系列氧化和非氧化（貴金屬）的金屬靶材，標配三塊57 mm直徑x 0.3 mm厚度的相同的鉻（Cr）靶。請注意：不能用Q300T T Plus將每個濺射頭配置三種不同的濺射金屬去實現(xiàn)三層連續(xù)鍍膜！
有關連續(xù)鍍制兩層不同材料的膜層，請參閱Q300T D Plus。其它大腔室鍍膜儀，請參閱K975X/K975S以及Q300T ES Plus。
儀器特點：
• 極限真空5 x 10-5mbar或更優(yōu)
• 電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用；用戶界面軟件全面更新，使用現(xiàn)代智能手機技術界面
• 全面的文字幫助頁面
• USB接口可輕松進行軟件更新，也可將配方文件備份/復制到USB存貯器
• log文件格式為.csv，內(nèi)含日期、時間和工作參數(shù)，可導出至Excel或類似軟件中分析
• 允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案，并可根據(jù)最近的使用情況來排列每個用戶的配方
• 16GB內(nèi)存，雙核ARM處理器，可實現(xiàn)快速響應的顯示；帶觸摸屏按鈕的全圖形界面，包括最近使用的1000個鍍膜日志等功能
• 帶內(nèi)爆防護罩的可拆卸玻璃腔室，可選高腔室
• 多種樣品臺可選
• 三個相同靶材的大面積濺射頭；磁控冷濺射；脈沖清潔用于濺射Al（鋁）
• 可選的膜厚監(jiān)控附件（FTM）
• 大而多色的LED指示燈，實現(xiàn)可視化狀態(tài)指示；程序完成后具有音頻聲音提示
推薦應用：
• 理想的大面積濺射鍍膜應用
• 晶圓檢驗
• 選用“單靶”模式，實現(xiàn)經(jīng)濟的鍍膜應用
• 可濺射各種易氧化和非易氧化金屬，用于薄膜及掃描電鏡多樣品制備
Q300T T Plus是英國Quorum出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分，數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。這些產(chǎn)品科研用途。
Q Plus系列鍍膜儀也有較小腔室的版本，請參閱：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可選的型號。
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