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IC6 薄膜沉積控制器

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產(chǎn)品型號(hào)IC6

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地深圳市

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更新時(shí)間：2025-04-08 13:05:11瀏覽次數(shù)：61次

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深圳市利方達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

功能豐富的 IC6 提供提供測(cè)量精度...

詳細(xì)介紹

功能

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下

Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度

支持最多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶(hù)很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r

100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）

6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控

可容納最多 50 個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程 200 層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜

可選以太網(wǎng)通信

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

光學(xué)鍍膜

規(guī)格

類(lèi)型		IC6
測(cè)量性能
分辨率 (1)		0.00433 Å/s/M
晶體頻率偏移		1.5 MHz
晶體范圍和精確性（來(lái)自 100-ms 樣品）		6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz
厚度精度 (2)		0.5%
測(cè)量頻率		10 Hz
多個(gè)測(cè)量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設(shè)計(jì)功能
Auto Z		yes
自動(dòng)色調(diào)		yes
共沉積		yes (up to 6 sources)
過(guò)程配方和數(shù)據(jù)管理
材料計(jì)劃		32
過(guò)程層（每個(gè)過(guò)程）		200
過(guò)程		50 (processes can be linked together)
USB 存儲(chǔ)器		yes
數(shù)據(jù)記錄		yes
硬件功能
傳感器 (3)
單		8
雙 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo^® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
通用		8
來(lái)源控制
來(lái)源數(shù)量 (4)		up to 6
來(lái)源控制電壓		0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率		15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置		64
輸入 / 輸出
輸入		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4)		0 to +10 V, adjustable
邏輯語(yǔ)句		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
標(biāo)準(zhǔn)		RS232
可選		Ethernet
顯示器
厚度分辨率		1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率		0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作
電源要求		100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作溫度		0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安裝件（高 x 寬 x 深）		5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm)
重量		23 lbs (10.5 kg)