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高溫化學氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號KJ-T1500CVD-DZ

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所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 08:44:22瀏覽次數(shù)：40次

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鄭州科佳電爐有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝的研究

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復合碳化物等超高熔點涂層化學氣相沉積制備工藝的研究。

產(chǎn)品特點：
1、該系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，智能控溫無需要人看守。
2、爐膛采購氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，密封法蘭上安裝有相關(guān)進氣口及出氣口

應用范圍：
廣泛應用于半導體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制高溫CVD系統(tǒng)
沉積爐
產(chǎn)品型號	KJ-T1500CVD-DZ
爐膛模式	開啟式
爐膛材料	氧化鋁耐火纖維
加熱元件	U型硅鉬棒
極限溫度	1600℃高溫區(qū)
工作溫度	≤1500℃高溫區(qū)
升溫速率	≤10℃/min
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū)
溫區(qū)總長度	200、300、400mm
爐管材質(zhì)	剛玉管
爐管直徑	40、50、60、80、100mm
密封方式	定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個進氣口方便進氣底部法蘭加支架方便工件放在沉積爐低溫區(qū)
控制模式	每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫
溫度曲線	多段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件	B型雙鉑銠熱電偶
供電電源	220V/380V 50HZ
供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上
氣體通道	可同時連接多種氣源
流量計	浮子流量計
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管	1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
溫度	700
工作溫度	500
爐膛尺寸	定制
開門方式	上開
進氣口	一個進氣口
出氣口	一個出氣口
售后服務	12個月質(zhì)保（易耗件及人為損壞除外），終身保修

1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務（易損件除外），在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。