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擴散硅壓力變送器在高壓環境下的可靠性主要體現在以下幾個方面：
高靈敏度：擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50～80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辨率。
高可靠性：擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片最大位移量在來微米數量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均時間長，性能穩定，可靠性高。
高精度：擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無機械動件連接轉換環節，所以不重復性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態精度很高。
高抗電擊穿性能：由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130°C正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。
耐腐蝕性好：由于擴散硅材料本身優良的化學防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應各種介質。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時結構工藝更易于實現。
綜上所述，擴散硅壓力變送器在高壓環境下的可靠性較高，能夠滿足各種復雜工控環境下對壓力的檢測需求。
