測量迅速，操作簡單 尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm 重量 400kg 類型 自動的 測量方法 無連接的 測量原理 反射計 特征
非接觸式，非破壞方式
優秀的重復性和再現性
2D/3D 映射和造型
自動機械活動控制
CCD相機
防震臺
自動調焦 活動范圍 300mm x 300mm 測量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) 光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option) 測量速度 1~2 sec./site(fitting time) 應用領域 半導體 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe...
電解質 SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,...
平板行業（包括LCD，PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc, NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide...
光學涂層反射膜，Color Filters...
太陽能電池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...)
聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR... 可選項目 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST) 接物鏡旋轉器 Quintuple Revolving Nosepiecs 焦點 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附帶照明 12v 100W Halogen Lamp
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