名稱

OTF-1100X-15-III

爐體結構

雙層殼體結構，并帶有風冷系統，殼體表面溫度低于70℃。

采用氧化鋁纖維作為爐膛材料。

加熱元件：Sic棒。

設備中配有2個氧化鋁管堵，以保障爐膛內部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須放入爐管內部）。

此管式爐可作為退火或擴散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架裝載）。

電動開啟式設計，使得用戶操作更加簡便。

結構圖 氧化鋁管堵 結晶裝載 電動開啟

加熱區

總加熱區長度：1000mm

三個加熱區：330mm+330mm+330mm（12" per zone）

工作溫度

工作溫度：1100℃。

加熱速率：10℃/min。

加熱元件：Sic棒（36根）

溫控系統

控溫精度為：±0.5℃

爐管

15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm O.D×388mm I.D×1860mm L。

注意：石英爐管易碎，操作需謹慎。

真空密封&法蘭

一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈式），4個硅膠密封圈，可是爐管真空度達到10∧-3torr（采用機械泵抽真空）。

左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進氣口。

右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內，測量爐管內溫度和進行溫度校準）。

可選

此管式爐需定期校準，以保證溫度的準確性和均勻性，我們可提供簡單的校準工具：

1根1200mm的K型鎧裝熱偶。

1個Omega溫度校準儀表。

此型號管式爐只可選機械泵，且頂真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能正常爐管損壞。

4"~8"晶片石英支架。

可與手套箱系統聯用，實現氧敏感性材料的燒結制備。

電壓

三相380V，50/60Hz

額定功率

20KW

產品尺寸

2300 L×1500 W×1400 H mm

凈重

300Kg

質保期

一年質保期，終生維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質量認證

CE認證。

所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA

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