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產品純度：99.5~99.999%
包裝說明：10～47L鋼瓶，10L鋁合金鋼瓶
產品說明：為具有強刺激性窒息氣味的黃綠色有毒氣體。主要應用于硅的氧化膜形成、氧化、化學氣相淀積、火箭推進劑、標準氣、校正氣、大氣監測標準混合氣。
注意事項：發生泄漏時，應迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并隔離直至氣體散盡，建議應急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿廠商特別推薦的化學(*隔離)。勿使泄漏物與可燃物質(木材、紙、油等)接觸，切斷氣源，噴霧狀水稀釋、溶解，然后抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
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