| 設備名稱 | 品牌廠商 | 型號 | 是否標配 | 規格 | 數量 | 報價類型 | 售后服務 | 成交單價 |
| 旋涂儀 | 中科院微電子所KW-4A型勻膠機 | KW-4A型勻膠機 | 是 | 參數：手動旋鈕控制 1、 基片尺寸φ5-100mm圓片、*大100x100mm2方片 2、 轉速：500-8000轉／分 3、顯示轉速穩定度：±1%，膠的均勻性±3% 4、勻膠階段：2段 5、勻膠時間：Ⅰ速0~18S,*大（0~60S）；Ⅱ速0~60S,*大（0~180S） 6、 電機功率：40W 7、整機尺寸（長寬高）：210mm×260mm×275mm 8、適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料 帶中科院微電子所KW-550A無油真空泵 3種樣片尺寸直徑分別為 22mm，34mm，45mm | 2.0 | 國內含稅價; 人民幣 | 6488 |
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