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濰坊普分儀器有限公司

當前位置:濰坊普分儀器有限公司>>日本雅馬拓設備>> PDC200/210/510等離子清洗機

等離子清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號PDC200/210/510

品牌

廠商性質其他

所在地

更新時間:2021-11-16 18:51:08瀏覽次數:267次

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日本雅馬拓等離子清洗機YAMATO雅馬拓、等離子清洗機PDC510

日本雅馬拓等離子清洗機,山東總負責,

YAMATO雅馬拓、等離子清洗機PDC510
儀器簡介:

研究開發用*適合等離子清洗機
等離子清洗機、用途:
CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理

等離子清洗機、技術參數:

型號
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式(DP選配)
DP模式
DP/RIE切換方式
電極構造
平行平板電極(固定)
高頻輸出功率
MAX300W
Max 500W
頻率
13.56MHz
控制方式
自動聯動,液晶觸摸屏控制
反應室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
電極尺寸
250×170mm
400×200mm
反應室材質
一次性一體成型鋁腔(防腐蝕,可對應CF4)
反應氣體
2系統(Ar/O2)
填充氣體
N2/潔凈干燥空氣
反應氣體流量控制
流量計
聚合控制器
真空泵
另行選配
油回旋真空泵(排氣量345L/min)
油回旋真空泵(排氣量500L/min)
氣體導入口
反應氣體2套,填充氣體1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
電源
單相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz

日本雅馬拓產品總類

日本雅馬拓作為主要的高品質產品和完善服務的生產商和分銷商,雅馬拓科學(

雅馬拓噴霧干燥器

日本雅馬拓噴霧干燥器ADL311:水溶性溶劑專用 日本雅馬拓噴霧干燥器

噴霧干燥機

DL410型雅馬拓噴霧干燥機,深圳:肖生 , QQ: DL410

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