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108 AUTO/SE 離子濺射儀

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更新時間：2021-07-29 14:34:26瀏覽次數：234次

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廣州競贏化工科技有限公司

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產品簡介

品牌CRESSINGTON 108 Auto SE是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜

詳細介紹

品牌CRESSINGTON

108 Auto SE是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

主要特性

一、自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導電噴鍍效果。

二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

三、操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

四、在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果，

五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。

七、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

八、可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標配），靶材更換快速方便。

技術參數

濺射系統
樣品室大小	直徑150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75") 高度可變165mm-250mm
靶材	Au 靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;大小：直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺	可以裝載12個SEM樣品座，高度可調范圍為60mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖，可調，電流40mA，程序化數字控制
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩
模擬計量	真空： Atm - 0.001mbar，電流：0-50mA
厚度監控 (選件)	使用MTM-20高分辨厚度控制儀（選件）自動終止濺射過程，或使用MTM-10高分辨厚度監控儀（選件）手動終止濺射過程
控制方法	自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器（0－300s），自動放氣
真空系統
真空泵	2級直連式高速真空泵
抽氣速率	3.0 m3/小時，真空度到 0.1mb所需時間30秒
桌上系統	真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統

可選附件：

一、膜厚測控儀

膜厚控制儀MTM-20
性能	基于微處理器，4位數字顯示，復位按鈕， 6MHz晶體（具有壽命檢查功能），5次/s的更新速率
膜厚范圍	0.0 - 999.9nm
分辨率	優于 0.1nm
密度范圍	0.50 - 30.00gm/cm³
修正系數范圍	0.25 - 8.00
鍍膜終止范圍	膜厚0 - 999.9nm