產品簡介：
Picosun R-200系列原子層沉積體統(tǒng)是一款多種能的原子層沉積平臺，是用于研發(fā)的理想選擇，適用于IC器件、MEMS器件、顯示器、led、激光、3D物體如鏡片、光學、珠寶、硬幣、醫(yī)療植入物等數十種應用的研發(fā)。
主要技術參數：
·適用2-8inch的單片晶圓；
·工藝溫度：50-500℃，Advance型號配有等離子處理系統(tǒng)，工藝溫度450℃（可選配特定chuck盤至650℃）；
·適用鍍膜種類：Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, ZrO2, AlN, TiN，Pt，Ir等；
·手動上料，可選配機械臂，搬運機器人或Cassette-to-Cassette上料；
·前驅體種類：液體，固體，氣體，等離子體，臭氧體等；
環(huán)保在線