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激光干涉儀是一種以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的測(cè)量方法，是高精度、高靈敏度的檢測(cè)方法，廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。

激光干涉儀的使用技巧：

一、Z軸激光光路的快速準(zhǔn)直方法。當(dāng)激光干涉儀用于線性測(cè)量時(shí)，在Z軸測(cè)量中校準(zhǔn)激光光路比在X軸和Y軸測(cè)量中困難得多。特別是在Z軸距離較長(zhǎng)的情況下，往往需要很長(zhǎng)時(shí)間對(duì)激光光路進(jìn)行準(zhǔn)直，才能保證被反射鏡反射回激光探測(cè)器的激光束的強(qiáng)度能夠滿足對(duì)光強(qiáng)的測(cè)量要求。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直法的具體調(diào)整方法是：將Z軸放在較低的位置，用激光器外殼中間的瞄準(zhǔn)槽將分束器放在Z軸的正對(duì)面，左右移動(dòng)Z軸觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)彎后與Z軸大致平行，將直線鏡和光靶左右移回Z軸，激光打在鏡面光靶上。在激光干涉儀的初始調(diào)整之后，固定分光鏡并在其上安裝光靶。“整體"調(diào)整準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)光靶后，移開分光鏡光靶，抬高Z軸，觀察激光對(duì)反射鏡光靶的偏離程度。同時(shí)，通過“尾部"調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。如果分光鏡在這個(gè)過程中由于“尾巴"調(diào)整擋住了部分激光，停止Z軸上升回到開始，重新調(diào)整“整體"然后再上升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾巴"，觀察激光在反射鏡靶上的偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程，往往幾次，以達(dá)到對(duì)齊的要求。

二、輔助工具的選擇。雖然激光干涉儀的安裝部件比較齊全，但是在實(shí)際使用過程中還需要配置一些額外的輔助工具：1、開發(fā)低高度云臺(tái)支架。機(jī)床工作臺(tái)高度的一部分基本與地面平齊，所以在測(cè)量Z軸的時(shí)候，如果用激光干涉儀原來的三腳架和搖籃把激光放在地面上，肯定會(huì)因?yàn)槿_架本身的高度而失去測(cè)量范圍。2、選擇磁性手表底座。磁臺(tái)架是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)要注意。工作臺(tái)支架的工作面上應(yīng)該有螺孔，以安裝鏡頭組的安裝桿，應(yīng)分別選擇底部和側(cè)面有主磁吸附面的兩個(gè)桌托。

激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高速度下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)元件，可以實(shí)現(xiàn)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以測(cè)試數(shù)控機(jī)床的動(dòng)態(tài)性能，測(cè)試分析機(jī)床的振動(dòng)，分析滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性，分析驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性，分析導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性等。激光干涉儀具有較高的精度和效率，為機(jī)床的誤差修正提供了依據(jù)。