測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。

雙電測數(shù)字式四探針測試儀

     儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。

     儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

三、雙電測數(shù)字式四探針測試儀基本技術參數(shù)

3.1  測量范圍

    電阻率：1×10^-4～2×10⁵ Ω-cm，分辨率：1×10^-5～1×10² Ω-cm

    方  阻：5×10^-4～2×10⁵ Ω/□，分辨率：5×10^-5～1×10² Ω/□

    電  阻：1×10^-5～2×10⁵ Ω   ，分辨率：1×10^-6～1×10² Ω

3.2  材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)

    直    徑：SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限

    SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.

    長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm,    手持方式不限.

    測量方位: 軸向、徑向均可

3.3.  4-1/2 位數(shù)字電壓表：

    (1)量程： 20.00mV～2000mV

    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.4  數(shù)控恒流源

   (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A

   (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

3.5  四探針探頭（選配其一或加配全部）

   (1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調

   (2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調

3.6 電源

   輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗：<20W

3.7 外形尺寸：

   主機  220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）