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等離子清洗機用于高精密行業

2020-6-28  閱讀(1908)

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離子處理機也叫等離子清洗機,或者等離子表面處理儀,是干式環保的清洗設備,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子清洗機能增加表面張力,精細清潔,去除靜電,活化表面等功能,廣泛應用于玻璃、金屬、線纜、橡膠、塑料、糊盒、糊箱、橡膠表面改性處理。

傳統式的清理加工工藝如cfc清理、ods清理因為污染環境、成本費用高,限制了當代電子器件安裝技術性的進一步發展,特別是精密的機器設備生產半導體晶圓制造等,所以干式清洗尤其是plasma等離子清洗機是現在發展趨勢。plasma等離子清洗機的清洗有二種方式,即等離子對材料表層的反映。常見氣體,如氬(ar)、氮(n2)等。二是氧自由基的化學變化,普遍的氣體是氫(h2)、氧(o2)等。ar等離子是靠沖擊性破壞了有機化合物的離子鍵,去除表層污染物。當工作壓力較低時,離子的能量越高,動能越高,沖擊越大,如果是用物理反應來清洗,反映應在較低的工作壓力下開展,實際清洗效果更強。等離子清洗機在清洗過程中不會造成產品與氣體產生化學反應,避免二次污染,能夠合理地除去因為前端加工工藝所留有的殘渣,進而使半導體在鍵合全過程中可以融合。與傳統式的濕式清理加工工藝對比,等離子清洗機更環境保護、價格更低。


等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.

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等離子清洗機的應用于材料的粘接預處理、印刷預處理、綁定預處理、焊接預處理、封裝預處理等。等離子清洗機能清洗肉眼看不的灰塵,殘膠,氧化物,積碳等等,使材料表面粗化,激活,親水性增強等。




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