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等離子清洗機使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；等離子清洗機的表面處理可用于高分子材料、復合材料、金屬、陶瓷、纖維等材料的表面清洗、活化和刻蝕等工藝，以提高材料的表面能與附著力，改善其粘接性、可印刷性、色牢度等，這主要是因為等離子體在材料表面形成了羧基、羥基等親水性基團。等離子清洗機處理是在真空狀態下高頻發生器將氣體電離產生等離子體(物質第四態)進行表面活化改性處理的工藝。等離子體是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離所產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質它是除固、液、氣外物質存在的第四態。這些高度活躍微粒子和被處理的材料表面發生作用，使惰性的聚合物表面活化提升其親水性，增強界面的交互作用且使單層分子更容易擴散到其表面，使PDMS基體表面得以改性實現其與多種材料鍵合。

等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機能去除材料表面的污染物,去除光阻膠:產生表面活性功能組;提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;

等離子清洗機的表面活化作用:表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預處理

等離子清洗機的表面聚合作用:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;

等離子處理機的表面改性作用:在材料表面產生官能分子團,高分子材料表面修飾;

等離子清洗機能去除表面殘留微生物，對醫療器械的消毒和殺菌;