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北京麥迪森科技有限公司
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北京麥迪森科技有限公司
閱讀：115發布時間：2023-7-9
渦輪分子泵是一種用于高真空和超高真空環境下的真空泵。它基于分子流動和轉子動力學原理工作，主要用于將氣體分子從真空室中抽出，以實現高真空狀態。
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渦輪分子泵的工作原理如下：
轉子運動：渦輪分子泵內部有一個高速旋轉的轉子，由多個彎曲的葉片組成。轉子通過電機驅動快速旋轉，一般轉速可達幾萬到十幾萬轉/分鐘。
氣體抽取：當轉子旋轉時，氣體分子進入泵的吸氣側，并被轉子葉片的動力學效應捕獲。轉子葉片的運動將氣體分子帶到泵的排氣側，并將其排出系統。
分子碰撞：在轉子的運動過程中，氣體分子之間會發生碰撞，從而使氣體分子的能量分散，并逐漸增加氣體分子的平均速度。
漏氣控制：渦輪分子泵內部還設置了一個定向導流器，用于控制氣體分子的流動方向，以避免氣體的回流和漏氣。
通過上述工作原理，渦輪分子泵能夠快速抽取氣體分子，將氣體從真空室中抽出，從而降低氣體分子的密度和壓力，實現高真空或超高真空的環境。
以上就是提供的渦輪分子泵介紹及工作原理。
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