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渦輪分子泵如何實現高真空度的抽取?

閱讀:103發布時間:2023-7-9

渦輪分子泵通過以下幾個關鍵因素實現高真空度的抽取:

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分子流動:渦輪分子泵的工作原理基于分子流動。轉子高速旋轉時,氣體分子被轉子葉片捕獲并帶到泵的排氣側,通過連續的分子流動將氣體分子從真空室中抽出。由于分子流動的速度遠遠高于常規氣體流動,渦輪分子泵可以實現高抽氣速度,從而快速降低真空室內的氣體密度和壓力。

適當的壓縮比:渦輪分子泵具有一定的壓縮比,即進入泵的氣體分子經過泵的作用后被排出系統時的密度和壓力會有所增加。適當的壓縮比有助于將氣體分子的密度提高到足夠高的水平,使得真空度能夠達到高真空或超高真空的要求。

漏氣控制:渦輪分子泵內部設置了導流器和密封裝置,以控制氣體的流動方向和減少漏氣。導流器的設計可以確保氣體分子在旋轉轉子的作用下沿著預定的流動路徑排出系統,避免氣體的回流和漏氣,從而提高真空度。

輔助泵的使用:渦輪分子泵通常與其他類型的輔助泵(如機械泵)結合使用,以實現更高的抽氣速度和更低的壓力。輔助泵能夠在初始階段迅速排除大量的氣體,然后將氣體分子傳遞給渦輪分子泵進行進一步的抽取和壓縮,從而實現更高的真空度。

需要注意的是,實現高真空度的抽取不僅依賴于渦輪分子泵本身的性能,還受到真空系統的其他組件和操作條件的影響。例如,正確的泵排氣順序、良好的密封性、低漏率的系統等都對真空度的提高起著重要作用。因此,在應用渦輪分子泵時,需要綜合考慮系統的其他因素,并采取適當的措施來優化真空度。

以上就是提供的渦輪分子泵如何實現高真空度的抽取的介紹。


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